ハイブリッド型パルス・プラズマ・コーティング(HPPC)システムの

■概要

三次元形状の複雑な製品(金型,工具や機械部品等)の表面にドライコーティングにより,均一で密着性の高いダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜やセラミック膜を形成する新表面改質システムの研究開発を北陸三県の産学官プロジェクトで行った。研究成果の概要を以下に示す。

(1) 開発した新表面改質システムは,原料ガス導入,プラズマ生成,パルス電圧印加をすべてパルス制御で行うもので,高周波とマイクロ波の重畳により1の大容積中に均一で高密度なプラズマを生成することができた。

(2) DLC膜の付き回り性試験により,複雑形状部(アスペクト比:~5まで)へのコーティングが可能になった。

(3) 200℃以下の低温でのDLCコーティングが可能になり,DLC膜の膜質向上が図られた。また,TiOx及びSiOx膜を150℃以下の低温で有機材料(ポリエステル繊維,PET樹脂製品等)表面へ機能性膜のコーティングが可能になった。

■執筆者

粟津薫:安井治之:作道訓之:佐治栄治:長谷川祐史:人母岳:池永訓昭:佐藤貴之:南保幸男:斎藤和雄

■執筆年

■発表媒体

平成12年度研究報告 VOL.50

■発行機関

石川県工業試験場

■論文URL

http://www.irii.go.jp/theme/h12/study04.htm

■関連URL

http://www.irii.go.jp/

■問合先

機関名	石川県工業試験場
部署
氏名	-
住所	〒920-8203　石川県金沢市鞍月2丁目1番地
TEL	076-267-8080
FAX	076-267-8090
e-mail

■備考

■添付ファイル名

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